波動伝搬法によるX線機能素子の特性解析
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概要
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X線はその短波長性を利用した、より微細なリソグラフィーや生体試料を観察するためのX線顕微鏡の実現化に大きな期待がかけられている。そのため、より効率的な実現可能なX線光源やレンズ・ミラー等のX線機能素子の研究がなされている。ここでは分布状屈折率媒質を用いたX線機能素子について、その特性を検討する。
- 1995-03-27
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