C-3-80 ステージ移動を用いた電子ビームリソグラフィによる光導波路描画システム

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概要

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• 一般社団法人電子情報通信学会の論文
• 2003-03-03

著者

• 堤 喜代司

  京都工芸繊維大学

• 阪口 亮

  京都工芸繊維大学

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