逆ステレオマッチング法による三次元断面形状測定(画像・映像処理<小特集>情報論的学習理論論文)
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概要
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本論文では, 電子顕微鏡のステレオ画像からLSIウェーハの断面形状を推定するための新たな手法を提案する.LSIウェーハの三次元計測は集積回路の寸法計測を非破壊で行うシステムにおいて重要である.本手法では, 電子ビームをLSIウェーハに照射したときに生じる二次電子の強度と三次元形状との間の関係を用いて, 二次電子強度を三次元形状へ変換する.そして, エネルギー最小化の手法を用いて, より詳細な三次元形状を復元する.この結果, 提案手法は従来のステレオマッチング法と比較して, 三次元形状を詳細かつ安定に復元することができる.提案手法はステレオマッチング法と逆のプロセスで三次元形状を復元するため, 提案手法を逆ステレオマッチング法と呼ぶ.LSIウェーハを撮影した電子顕微鏡写真を用いた実験結果により, 提案手法の有効性を示す.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2005-02-01
著者
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