超高真空原子間力顕微鏡によるGaAs(110)劈開面の観察
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
試料の劈開機構を有する超高真空原子間力顕微鏡を開発し、化合物半導体の劈開表面の観察を行った。具体的には、GaAs(110)劈開表面を取り上げ、原子的分解能で観察することに初めて成功した。また、得られた原子間力顕微鏡画像では、As原子に対応する起伏がおもに観察されていると考えられ、Ga原子は観察されているかどうかは現在のところ不明である。超高真空原子間力顕微鏡がダングリングボンドのある半導体表面を原子スケールで観察できることを示した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-11-18
著者
関連論文
- 3p-K-6 非接触モードAFMによるSi(111)7×7再構成表面の原子分解能観察
- 29p-PSB-12 非接触モードUHV-AFMによるNaF(100)劈開表面の原子分解能観察
- 29p-PSB-1 非接触モード超高真空原子間力顕微鏡によるInP(110)劈開面の格子欠陥の観察
- 28a-J-9 超高真空原子間力顕微鏡によるII-VI族化合物半導体劈開面の格子像観察
- 2a-R-9 超高真空原子間力顕微鏡によるInP(100)劈開表面の格子像観察
- 31a-WB-5 超高真空原子問力顕微鏡によるGaAs(110)劈開表面の格子像観察
- 摩擦力顕微鏡 -ミクロな摩擦力の解釈-
- 2次元摩擦力顕微鏡による量子トライボロジーの研究
- 非接触モード原子間力顕微鏡の新展開
- 非接触モードAFMにおける力勾配-距離曲線の解析 II
- 非接触モードAFMによるファンデルワールスカのミクロなモデルの検証
- 31p-PSB-9 非接触モードAFMにおける力勾配-距離曲線の解析
- 2p-S-2 原子間力顕微鏡によるエバネッセント場の検出
- 非接触モード超高真空原子間力顕微鏡による化合物半導体表面の原子分解能観察
- 超高真空原子間力顕微鏡による化合物半導体へき開面の接触および非接触原子分解能観察
- 原子間力顕微鏡(AFM)
- 走査型マイクロプローブ顕微鏡
- 30p-ZF-3 原子間力顕微鏡による真空中測定
- 大気および超高真空AFMで高分解能像を得るためには? : 試作と像解釈のノウハウ (3)
- 大気および超高真空AFMで高分解能像を得るためには? : 試作と像解釈のノウハウ (2)
- 大気および超高真空AFMで高分解能像を得るためには? : 試作と像解釈のノウハウ (1)
- 超高真空原子間力顕微鏡によるGaAs(110)劈開面の観察
- 6.3 AFM/STMによる半導体の複合観察