アルミニウム単一電子素子技術の現状と将来
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
アルミニウム単電子デバイスは理想的なゲート変調を示し、高電流密度が得られ、再現性に優れ、往々にして完全に動作解析が可能である。我々は電子ビームリソグラフィにより20nmの島を有するアルミニウム単電子デバイスを作り、その電荷計としての動作を100K以上の温度まで確認した。また電気化学的微細加工法(ACME法)を開発し、アルミニウム素子の動作温度を、最高で約10倍にすることが簡便にできた。デジタル回路の一例として、これら作製技術の延長により室温動作も十分可能な単電子フラッシュメモリを提案し、その動作を数値解析により示した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-03-14
著者
-
蔡 兆申
Necエレクトロニクス研究所:riken
-
蔡 兆申
NEC基礎・環境研究所
-
陳 啓東
Nec基礎研究所
-
中村 泰信
NEC基礎・環境研究所
-
中村 泰信
Necエレクトロニクス研究所:riken
関連論文
- 20aHW-5 超伝導マイクロ波共振器を用いた磁束量子ビットの非破壊読み出し(20aHW 微小接合,領域4(半導体,メゾスコピック系・局在))
- 23pGD-4 正方格子超伝導ネットワークにおける臨界電流の異方性(23pGD 磁束量子系2(混合状態,磁束・渦糸状態ほか),領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
- 27aRG-5 正方格子超伝導ネットワークにおける特異な磁束侵入の磁気光学イメージング(磁束量子系1(電子状態・渦糸相図他),領域8,強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など)
- 量子ビット読み出し用マイクロ波dc-SQUIDの開発
- C-8-6 量子ビット用低臨界電流磁束量子回路の研究(C-8.超伝導エレクトロニクス,一般講演)
- CS-6-6 超伝導量子ビット制御に向けた超伝導モジュール技術(CS-6.量子ビットの現在、量子コンピューティングの将来,シンポジウム)
- 量子ビット用マルチチップモジュールへのSQUID応用(SQUID,一般)
- 量子ビット用マルチチップモジュールへのSQUID応用
- 26pWQ-5 超伝導ネットワークにおける磁束侵入の磁気光学イメージング(26pWQ 磁束量子系II(ナノ構造・電子状態),領域8(強相関係:高温超伝導,強相関f電子系など))
- 22pTG-6 ジョセフソンインダクタンスによって結合した超伝導電荷量子ビットにおけるスペクトロスコピー測定(微小接合,領域4,半導体,メゾスコピック系・局在)
- 30aXC-1 膜厚によって超伝導ギャップを制御した超伝導単電子トランジスタにおけるパリティ効果(30aXC 微小ジョセフソン接合,領域4(半導体,メゾスコピック系・局在))
- 超伝導電荷量子ビットにおける2ビットゲｰト動作
- 12pYB-6 電荷量子ビットの単事象読出し(微小超伝導・微小ジョセフソン接合, 領域 4)
- 28aYA-1 結合超伝導電荷量子ビットにおける量子コヒーレンスとゲート動作(領域4シンポジウム : 固体素子における量子情報操作の可能性)(領域4)
- 21aTL-2 超伝導電荷量子ビットを用いた C-NOT ゲート
- 28aYH-7 キャパンタンスによって結合した超伝導電荷 2 量子ビットにおける量子振動
- 23aWQ-2 磁束量子ビットのラビ振動の緩和率測定による磁束ノイズの評価(23aWQ 微小接合,領域4(半導体メゾスコピック系・局在))
- NECにおける量子情報技術・システムへの取り組み : 量子力学の原理による情報通信技術のイノベーション(電子デバイス, 一般)
- 21aTL-4 Flux-qubit のスピンエコー
- 21aTL-3 Flux-qubit のパルス測定 : readout fidelity
- ジョセフソン電荷量子ビットの近況 (特集号)
- 低温サブゼミナール : 単一電子トンネリング(Single Electron Tunneling)(低温,第40回 物性若手夏の学校(1995年度),講義ノート)
- 27pXD-2 結合された2つの磁束量子ビットの位相緩和測定(微小接合,領域4,半導体,メゾスコピック系・局在)
- 22pYF-14 磁束量子ビット間可変結合のON/OFF比の評価(22pYF 微小接合,領域4(半導体,メゾスコピック系・局在))
- 22pYF-10 ジョセフソン接合を持つ超伝導マイクロ波共振器の非線形領域特性(22pYF 微小接合,領域4(半導体,メゾスコピック系・局在))
- 22PYF-9 超伝導マイクロ波共振器を用いた磁束量子ビットの状態読み出し(22pYF 微小接合,領域4(半導体,メゾスコピック系・局在))
- 22aZA-1 磁束駆動型ジョセフソンパラメトリック増幅器の開発(22aZA 量子エレクトロニクス(量子光学),領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))
- 22pTG-7 量子ビット非破壊読み出しのための超伝導非線形共振器 : 回路設計(微小接合,領域4,半導体,メゾスコピック系・局在)
- 22pTG-8 量子ビット非破壊読み出しのための超伝導非線形共振器 : 作製と評価(微小接合,領域4,半導体,メゾスコピック系・局在)
- 22pTG-9 可変結合を持つ2つの磁束量子ビットの量子状態操作(微小接合,領域4,半導体,メゾスコピック系・局在)
- 30aXC-2 磁束量子ビットのデコヒーレンスの温度依存性(30aXC 微小ジョセフソン接合,領域4(半導体,メゾスコピック系・局在))
- 20aWF-9 磁束量子ビットのデコヒーレンス2(微小ジョセフソン接合,領域4(半導体,メゾスコピック系・局在))
- 20aWF-8 磁束量子ビットのデコヒーレンス1(微小ジョセフソン接合,領域4(半導体,メゾスコピック系・局在))
- 30pZP-8 超伝導磁束量子ビットのコヒーレント制御
- 27pTB-1 微小島電極を介した単一電子トランジスタにおけるトンネル分光
- 固体素子量子ビット (小特集 量子コンピューティング)
- 27pYG-8 FIBエッチングを用いたNb単電子トランジスタの作製(微小金属/超伝導体/ジョセフソン結合)(領域4)
- オーバーダンプNb/AIOx/Nb接合を用いたノンラッチングサンプラー
- 12p-DF-3 1次元SET接合アレイの電流-電圧特性
- 29p-S-3 ジョセフソンエネルギー準位分裂のスペクト口スコピー
- 30p-Q-2 微小超伝導ドットにおけるパリティ効果の観測
- 29p-S-3 ジョセフソンエネルギー準位分裂のスペクトロスコピー
- アルミニウム単一電子素子技術の現状と将来
- 微細化の進むアルミニウム単電子デバイス技術
- 超伝導量子ビットの動作
- 19pYH-4 超伝導電荷数状態量子ビット
- 29pTB-4 クーパー対箱における電荷エコー
- ジョセフソン接合を用いた量子ビット
- 27aD-4 単一クーパー対箱におけるラビ振動の観測
- 25pA-1 微小ジョセフソン接合回路における人工量子2準位系のコヒーレント制御
- 31a-A-5 超伝導単一電子箱における量子コヒーレント振動の観測
- 単一電子トランジスタの現れた巨視的量子コヒーレンス
- 31p-X-4 光介在クーパー対トンネリング : 複数光子の関与する過程
- 26aHD-3 磁束量子ビットのデコヒーレンスの数値計算(26aHD 微小接合・半導体スピン物性,領域4(半導体,メゾスコピック系・局在))
- 24aED-7 ラビ振動の緩和の数値計算(24aED 量子エレクトロニクス(光量子情報処理),領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))
- 超伝導単一電子トランジスタにおけるジョセフソン-準粒子サイクル(II)
- 28p-M-2 超伝導単一電子トランジスタにおけるジョセフソン-準粒子サイクル
- シングルエレクトロニクス : 電子を一つずつ制御する技術
- 26pBE-12 超伝導磁束量子ビット-共振器結合系における大きな分散シフト(実験)(26pBE 量子光学・量子情報,領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))
- 26pBE-11 超伝導磁束量子ビット-共振器結合系における大きな分散シフト(理論)(26pBE 量子光学・量子情報,領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))
- 27pED-13 パラメトリック増幅器を用いた超伝導磁束量子ビット単一試行読出し(27pED 量子エレクトロニクス(量子光学・超伝導),領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))
- 27pED-7 超伝導回路QEDにおけるΔ型三準位系の量子光学応答(実験)(27pED 量子エレクトロニクス(量子光学・超伝導),領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))
- 27pED-14 超伝導磁束量子ビットのラビ振動の緩和率測定による磁束の揺らぎの評価(27pED 量子エレクトロニクス(量子光学・超伝導),領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))
- 1p-YB-5 超伝導単一電子トランジスタにおけるクーパーペアトンネリング(1pYB 低温シンポジウム 単一電子トンネル現象と多体効果,低温)