微細化の進むアルミニウム単電子デバイス技術
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概要
著者
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蔡 兆申
Necエレクトロニクス研究所:riken
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蔡 兆申
NEC基礎・環境研究所
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陳 啓東
Nec基礎研究所
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中村 泰信
NEC基礎・環境研究所
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中村 泰信
Necエレクトロニクス研究所:riken
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