オーバーサンプリングΔ-Σ復調技術を用いた容量型圧力センサのインターフェイス
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概要
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AD変換と線型化機能を有する容量型圧力センサのインターフェイスを開発した。フロントエンド部はセンサ容量を電圧として検出するスイッチドキャパシタ・ブリッヂで、この出力によってセンサのモデル信号をパルス幅変調することによってディジタル化と線型化を同時に行っている。モデル信号はセンサの圧力対容量特性をディジタル波形合成によって時間軸に移したものであり、このモデル信号の発生にオーバーサンプリングΔ-Σ復調技術を用いている。本インターフェイスはCMOSプロセスで集積化でき、温度補償やオフセット及びスパンの調整も可能であるため、汎用センサインターフェイスとして有望である。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-09-21
著者
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