振動ジャイロ用7電極圧電セラミック円柱振動子
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概要
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圧電セラミック円柱の外周面に、長さ方向と平行な7本の帯状電極を形成した圧電セラミック円柱屈曲振動子は、電極印刷時の寸法ずれの影響を受けにくく、しかも電極パターンが圧電セラミック円柱の中心軸に対して回転対称で無いこと及び、分割角度を小さくするにつれて、分極部と未分極部の音速の差の影響で振動モードの縮退が解けて振動モード軸が所定の帯状電極の方向に固定されることから、励振振動方向に対する検出電極の対称性の高い振動子を得ることができる。7電極振動子を用いて振動ジャイロを構成したところ、従来に比べて特性のばらつきが少なくなり、振動ジャイロを構成する場合の共振周波数の調整工程の省略が期待できる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-09-21
著者
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