ランガサイト基板におけるSAW導波路の解析
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概要
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最近, IF 帯 SAW デバイス用圧電材料として, 水晶基板に比べて電気機械結合係数が大きいランガサイト(La_3Ga_5SiO_<14>)基板が注目されている.本報告では, このランガサイト基板上の SAW 導波路特性についてスカラーポテンシャル理論を用いて解析を行った.ランガサイト基板における SAW 速度は, 通常電極材料として使われてい AI の横波バルク波速度よりも遅いため, SAW 導波路の構成は AI 膜で挟まれた自由表面が導波路となり水晶基板の場合とは逆である.この導波路構成において, 電気機械結合係数が大きいがパワーフロー角がゼロでない方位である X-25゜Y 方位を解析した結果, 導波路幅が小さい領域で導波モードになるSAWがカットオフになる現象があることを明らかにした.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-05-22
著者
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