弾性表面波フィルタにおけるAl-Ta合金電極膜の耐電力性
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概要
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Al-Ta合金膜を弾性表面波フィルタの電極に用いて耐電力性の評価をした. その結果, Ta添加によってヒロックやボイドの発生を抑えることがわかった. また, ウイスカが発生することもわかった.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-10-25
著者
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中野 正洋
Tdk(株)応用製品研究所
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木村 悟利
TDK株式会社応用製品研究所
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木村 悟利
TDK(株)応用製品研究所
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佐藤 勝男
Tdk(株)応用製品研究所
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佐藤 勝男
Tdk
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佐藤 勝男
Tdk株式会社
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中野 正洋
TDK株式会社 応用製品研究所
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