Tiバッファ一層を利用したSAWデバイス用Al電極膜の解析
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-09-21
著者
-
中野 正洋
Tdk(株)応用製品研究所
-
木村 悟利
TDK(株)応用製品研究所
-
佐藤 勝男
Tdk(株)応用製品研究所
-
佐藤 勝男
Tdk
-
佐藤 勝男
Tdk株式会社
-
中村 僖良
TDK(株)応用製品研究所
-
木村 悟利
Tdk(株)
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