フォトカンチレバーを用いた近接場光像の走査高さ依存性

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概要

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• フォトカンチレバーを用いて、周期的なトポグラフィーを有するサンプル表面近傍に定在する近接場光の伝達特性を non-contact constant-height modeにて評価した。ここでは、現行の磁気デイスク用浮動ヘッドの浮上高さに相当する60nm〜120nmのすきま(scan height)範囲において、検出信号の空間周波数成分ごとのすきま依存性を調べ、フォトカンチレバーと近接場の相互作用を含まない近似解析結果と比較した。検出された近接場光の強度特性は、定性的に近似解析結果と一致し、60nmのすきまにおいて、少なくても250nm程度の空間周波数成分が検出可能であることを確認した。さらにすきまの低減に相まって急激な空間分解能の向上が予想され、本系の非接触・高速検出ヘッドとしての応用が期待できる。

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 1997-11-20

著者

• 吉川 博

  NTT 入出力システム研究所

• 大久保 俊文

  NTT 入出力システム研究所

• 山本 学

  NTT 入出力システム研究所

• 福澤 健二

  NTT

• 福澤 健二

  NTT 入出カシステム研究所

• 山本 学

  Ntt 入出力システム研

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