電子ビーム記録装置を用いた高精度記録
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概要
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ハイビジョン映像を2時間以上記録するために,次世代光ディスクには23GB以上の記録密度が要求される。このような高密度光ディスクは,狭トラックピッチでより短いマーク長で記録しなければならないため,高解像度かつ高精度なマスタリング装置が必要となる。そのために我々は電子ビーム記録装置(Electron Beam Recorder:EBR)を開発した。記録位置精度向上のためのいくつかの改良を行い,ピッチむらの向上を確認した。また,スパイラル記録において100nmピッチの記録を実現した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-02-21
著者
-
勝村 昌広
パイオニア株式会社 総合研究所 ナノプロセス研究部
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加園 修
パイオニア株式会社 総合研究所 ナノプロセス研究部
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飯田 哲哉
パイオニア株式会社 総合研究所 ナノプロセス研究部
-
杉本 達哉
パイオニア株式会社総合研究所ナノプロセス研究部第一研究室
-
小島 良明
パイオニア株式会社総合研究所
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飯田 哲哉
パイオニア株式会社総合研究所ナノプロセス研究部
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飯田 哲哉
パイオニア(株)研究開発本部総合研究所ナノプロセス研究部
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勝村 昌広
パイオニア株式会社総合研究所ナノプロセス研究部
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加園 修
パイオニア株式会社総合研究所ナノプロセス研究部
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小島 良明
パイオニア株式会社総合研究所ナノプロセス研究部第一研究室
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