交流電流が作るGaAs/AlGaAsメサストライプ周辺磁界の磁気力顕微鏡観察
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概要
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被測定系の伝導特性を非接触で評価できる電流計を実現する一つの方法として,電流が作る磁界を磁気力顕微鏡(MFM)を用いて計測する測定系を提案する.幅15μmのGaAs/AlGaAsメサストライプ中量子井戸に10μA程度以下の交流電流を流したときに作られる磁界をMFMで測定した.その結果,静電引力の影響を排除するために直流オフセット電圧を重畳することで磁気力信号が明確に得られること,交流電流の増加に伴って磁気力信号の振幅が増加すること,及び磁気力信号が探針磁化方向に依存することを見出した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-02-01
著者
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