オージェ電子分光法による合金蒸着膜の定量分析
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概要
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鏡面にされたケイ素上に蒸着された金属薄膜の深さ方向の分析から,ケイ素に対する元素の相対感度を求め,合金蒸着膜を定量する方法について検討した.低エネルギーのピークはアルゴンイオン照射により,ピーク強度が減少するが, 200ev以上のピークにはイオン照射の影響は現れない.そこで,ケイ素のKLLピーク(1619ev)の強度を基準にして,ニッケル,アルミニウム,クロム及び金の相対感度を求めた.この相対感度を用いてニッケル-アルミニウム,ニッケル-クロム及びニッケル-クロム-金の合金膜を分析し,化学分析値と比較した.その結果,オージェ電子分光法による分析値は化学分析値と比較して±10%以内であった.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 1981-11-05
著者
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