少量試料を用いた清浄な液体中微粒子数の測定

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概要

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• フォトレジスト,ゼラチン感光液などエレクトロニクス原料は清浄であることが要求されているが,高価であるため,その中に含まれる微粒子(ダスト)の数の測定には少量の試料しか使用を許されない.著者らはダスト計数の基準と考えられる濾渦検鏡法に基づく測定技術を開発した.この技術は,濾紙のから試験値の極端な低減を中心とした清浄濾渦技術と検鏡法の組み合わせから成る.濾紙表面の小さな凹凸をダストと区別するために,検鏡は透過法を用いた.濾紙から試験値は,ポリエステル材質のニュークリポアメンブランフィルターを用いた場合のみ超音波洗浄又は水吹きつけによって,本目的に十分な程度,すなわち有効濾過面積120mm^2中0.2μm 以上のダスト数50個以下,にまで低減することができた.この方法によるフォトレジスト,ゼラチン感光液中0.2μm以上のダスト測定値は200〜2000個/mlであった.肉眼による直接検鏡法とコンピューターによる画像処理法とはよい相関を示した.清浄濾渦,プレパラート作製はクラス100のクリーンルーム中で行った.

• 社団法人日本分析化学会の論文
• 1985-11-05

著者

• 野沢 明義

  三菱化成総合研究所分析物性研究所

• 大高 好久

  三菱電機(株)神戸製作所:(現)(株)三菱化成安全科学研究所

• 野沢 明義

  三菱化成工業(株)総合研究所分析物性センター

• 井村 美奈子

  三菱化成工業(株)総合研究所分析物性センター

• 大高 好久

  三菱化成工業(株)総合研究所分析物性センター

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