14MeV中性子放射化法によるモリブデン板上の窒化ケイ素及び炭化ケイ素被膜中の酸素の定量

概要

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モリブデン板上に形成させた窒化ケイ素及び炭化ケイ素被膜中の酸素を14Mev中性子放射化法で定量した.試料はほぼ8mm角に切断し,ポリエチレンカプセルに入れ,ポリエチレン円柱で固定した.試料面が重陽子ビーム方向に90°の位置で照射し,CRモニター法で照射時間及び測定開始時間を調節した.照射終了した試料を気送途中に姿勢転換器で回転させ,効率よく測定されるようにした.14Mev中性子照射により酸素から^<16>O(n,p)反応で生成する^<16>Nの(4.0〜8.0)MeVのエネルギー範囲のγ線を測定し,同時に生成する放射性核種の妨害を受けることなく測定できた.その結果,炭化ケイ素被膜5*m, 10*nm, 15*mではそれぞれ0.7, 0.9, 2.1及び2.3)重量%の結果が得られ,10*mの厚さの窒化ケイ素被膜では2.5重量%の結果が得られた.定量下限は酸素として約18*g,炭化ケイ素5*m及び窒化ケイ素10*m,炭化ケイ素10*m.15*mではそれぞれ0.8, 0.4, 0.3重量%と計算される.試料1個当たりの所夏時間は約62秒である.
社団法人日本分析化学会の論文
1982-06-05