酸化アンチモン(III)中の微量ウラン及びトリウムの誘導結合プラズマ質量分析法による定量

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概要

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• LSI用の封止材の難燃剤として使用される酸化アンチモン(III)中の極微量ウラン及びトリウムの定量に対して, 蒸発分離によりマトリックスを除去し, 誘導結合プラズマ質量分析法の適用を検討した.誘導結合プラズマ質量分析法はマトリックスの影響を受けやすいため, マトリックスであるアンチモンを最も簡便で外部汚染の少ない, ハロゲン化物蒸発分離法によって分離した, 分離用の酸としては, 残存するアンチモンが^<121>Sb^<37>Cl_3,^<123>Sb^<37>Cl_2^<35>Clのような分子イオンを生じ, トリウムに対して正の誤差を与える塩酸は使用せず, 臭化水素酸を用いた.更に, 過塩素酸及び硫酸を含む臭化水素酸よりも臭化水素酸単体のほうが優れていることを明らかにし, 1/10^6までマトリックス量を低減可能とした.本法の定量下限はウラン : 0.02ng g^<-1>, トリウム;0.03ng g^<-1>であった.

• 1995-09-05

著者

• 福田 雅光

  三菱マテリアル(株)総合研究所分析・材料評価センター

• 佐山 恭正

  三菱マテリアル(株)総合研究所分析・材料評価センター

• 佐山 恭正

  三菱マテリアル(株)総合研究所

• 福田 雅光

  三菱マテリアル(株)総合研究所分析材料評価センター

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