高速液体クロマトグラフィー/誘導結合プラズマ発光分析法による銅電解液中のアンチモン(III, V)の分別定量

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概要

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• 銅電解液中のアンチモン(III)イオンとアンチモン(V)イオンを分別定量するHPLC/ICP-AES分析システムを構築した.試料溶液はチオ尿素を含む移動相に注入し, アンチモン(III)イオンをチオ尿素錯体として陽イオン交換樹脂に吸着させ, アンチモン(V)イオンと分離する.続いて移動相を塩化リチウム溶液に切り替え, アンチモン(III)イオンを溶離する.試料注入以降の流出液をICP-AESに直接導入して, アンチモンの発光強度(波長206.833nm)を測定する.本システムを利用すると銅電解液中のアンチモン(III)及びアンチモン(V)イオンを相対標準偏差(RSD)3.6%及び2.3%(各0.1g1^<-1>レベル, n=5)で定量可能であった.

• 1995-07-05

著者

• 佐山 恭正

  三菱マテリアル(株)総合研究所分析・材料評価センター

• 久野 義夫

  三菱マテリアル(株)総合研究所那珂研究センター

• 佐山 恭正

  三菱マテリアル(株)総合研究所

• 深谷 忠廣

  三菱マテリアル(株)中央研究所分析研究室

• 久野 義夫

  三菱マテリアル(株)中央研究所分析研究室

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