粒子線検出用二次元固体撮像素子(<特集>質量分析法の応用技術)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
Charged particles such as ions and electrons with keV order kinetic energy are important as probes and signals for surface analyses. Many detection systems have been developed to measure two-dimensional distribution of particles. However, the capabilities of solid-state area detector are not sufficient for quantitative analysis of the charged particles ; although the solid-state imager such as the charge coupled device has been successfully developed to detect photons in optical spectroscopy. This paper discusses the performance and characteristics of a novel solid-state imager for charged particles, which is useful for charged particle detection in such procedures as mass spectrometry and electron microscopy.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 1996-06-05
著者
関連論文
- 2/3インチ200万画素CMDイメージセンサ : 固体撮像関連 : 情報入力 : コンシューマエレクトロニクス
- 1インチ200万画素CMDイメージセンサ(論文固体撮像技術)
- 2-6 7μm画素CMDイメージャ
- 3-5 LOCOS構造CMDイメージセンサー
- 2-12 デバイスシミュレーターTRINEによるCDM動作解析
- 2-11 31万画素CMDイメージャ
- 16)CMDの高速駆動化検討(〔テレビジョン電子装置研究会 画像表示研究会〕合同)
- CMDの高速駆動化検討("画像デバイス"特集)
- 4-4 10μm画素CMDイメージャ
- ゲート蓄積型MOSフォトトランジスタイメージセンサ(固体撮像技術)
- CMD撮像素子 : 高解像度化への取り組み(固体撮像とその関連技術)
- 3)CMD撮像素子 : 高解像度化への取組み(情報入力研究会)
- 4-6 CMDイメージセンサにおけるランダムノイズ
- CMD撮像素子 : 高解像度化への取り組み
- 23-9 5μm画素CMDイメージセンサ
- 2)CMD撮像素子のFPN抑圧駆動法(〔情報入力研究会情報ディスプレイ研究会コンシューマエレクトロニクス研究会〕合同)
- CMD撮像素子のFPN抑圧駆動法
- 2-13 CMD固体撮像素子のランダムノイズ測定
- 3-7 ゲート蓄積型MOSフォトトランジスタ・イメージセンサ
- 荷電粒子検出用二次元半導体素子の質量分析形計への応用
- 荷電粒子検出用CMOSイメージセンサ
- 荷電粒子検出のための2次元半導体素子の開発
- 326. 小笠原諸島産ボニナイトの斑晶鉱物中のガラス包有物
- 同位体組織学:SIMSが拓く宇宙・地球化学のフロンティア
- 新世紀に向けての地球外物質の研究と地球外資源探査
- 低暗電流化荷電粒子検出イメージセンサ(固体撮像技術および一般)
- ロシア・南バイカルKhenteyドーム、Burkal川流域に産するマントル捕獲岩中の単斜輝石の微量元素研究
- 粒子線検出用二次元固体撮像素子(質量分析法の応用技術)
- 無水鉱物中の水素の局所分析
- 4)最先端分析機器開発の全地球史解読へのインパクト(B.全地球史解読計画:その戦略と見通し)
- パターン付き埋め込み酸化膜をもつ特殊SOIウエハーの製作プロセスとその広角2次元光スキャナへの適用
- 403 二次元固体撮像素子SCAPSの出力特性と雑音特性の解析(セッション4)
- 306 固体撮像素子AMIを用いた同位体顕微鏡の開発(セッション3)