金属-チタン酸化物によるガス状水素化物の検出(<特集>センサー)
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概要
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シリコン基板上に金属-チタン酸化物から成るショットキーダイオードのガスセンサーを作製した.これは薄膜技術により製作され, かつ温調部を素子に内蔵しており, 量産性に優れている.最適温度は150〜200℃であった.感応膜として金を用いた場合は, 半導体プロセスに多く用いられるアルシン, ホスフィンなどの毒性ガスに, パラジウムを用いた場合は水素ガスに高感度であった.干渉ガスの影響も少なく金-チタン酸化物のホスフィンに対する感度はエタノールの約10万倍であった.経時変化も温度を上げることやフィルターを取り付けることにより約1年の寿命を確保することができた.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 1990-11-05
著者
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