大規模生産システムシミュレータStage : シミュレーションモデル精度評価コンセプト

概要

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近年、半導体拡散ラインに代表される大規模生産システムの生産計画、実施計画、生産制御方式、設備計画等の立案/評価においてシミュレーション技術による支援が不可欠となってきている。特に、半導体拡散ラインでは数百工程、数百品種、数百設備と問題が大規模であり、かつ生産制御が極めて複雑である。この半導体拡散ラインのシミュレーションを行うにあたり、実運用に耐えうる高いシミュレーション精度を確保するために、どの程度モデルを詳細化する必要があるのかが問題となる。基本的にシミュレーション精度を上げるためには、より詳細なモデル記述が必要になるが、それに伴いパラメタ設定の妥当性、モデル構築コスト増等が問題となる。これまでシミュレーション精度に対するモデル必要詳細度の明確な基準は提案されておらず様々な問題を引き起こしていた。そこで我々は、モデル必要詳細度の基準となる「シミュレーションモデル精度評価コンセプト」を提案し、この基準を満たすモデル記述機能を持つ大規模生産システムシミュレータStageとして具現化した。本稿では、「シミュレーションモデル精度評価コンセプト」について論ずる。
1993-09-27