大規模生産システムシミュレータStage : 生産制御方式の評価とモデル詳細度

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概要

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半導体拡散ラインは、数百工程、数百品種、数百設備の規模を持ち、かつ極めて複雑な生産制御を行う大規模生産システムである。この様な半導体拡散ラインにおける生産制御方式の立案/評価を行うためにはシミュレーション技術による支援が不可欠となっている。しかし、実運用に耐えうる高いシミュレーション精度を確保するためにどの程度モデルを詳細化する必要があるのかが問題となる。我々はモデルの前提条件に対する関与部署間のコンセンサス形成を主眼におき、「生産情報インフラが把握している事象を基準としたシミュレーション精度評価コンセプト」をモデル必要詳細度の基準として提案した。この基準を満たすべく大規模生産システムシミュレータStageのモデル記述機能の開発を進め、半導体拡散ラインに適用してきた。本稿では、半導体拡散ラインにおけるシミュレーションによる生産制御方式の評価に焦点を当て、シミュレーション精度の面からモデルとして表現すべき事象について論ずる。
1994-03-07

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