大規模生産システムシミュレータStage : 生産管理情報からのモデルデータ作成について

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概要

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我々は、半導体拡散工場の生産管理/制御方式の評価を大規模生産システムシミュレータStageにより行っている。その際、モデルの生成法、妥当性の検証が重要である。半導体拡散工場は、非常に大規模(保有設備台数は数百、製品を完成させる為に要する工程数は数百、数千ロットの仕掛が常時存在、数千品種、数千種類の処理条件)である為、高度な生産管理システムが構築されている。しかし、これらの生産管理システムの多くは主にロットの進捗管理を目的とし設計されており、必ずしもシミュレーションに必要な情報を完備しているとは限らない。そこで、シミュレーションモデルの生成には、不足データの補完やパラメータの推定が必要となる。本稿で、この様な生産管理情報からシミュレーションモデルを作成する方法について報告する。
1994-03-07

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