プリント基板パターンの圧縮記憶方式

概要

論文の詳細を見る
プリント基板のパターン外観検査装置に用いられる欠陥検査の方式として、同一の形状を持つ2組のプリント基板パターンの対応部分をお互いに比較する方式が知られている。この実物パターン同士の比較検査方式は、比較的簡単な構成で精度良く検査できる反面、ホトマスク欠陥に起因する欠陥は検出できないこと、パターンが2組ないと検査できないこと等の短所があった。ホトマスク起因の欠陥を検出し、また1組のパターンでも検査できるようにするためにあらかじめ基準パターンを記憶し、被検査パターンと比較検査する方式について検討した。プリント基板パターンの情報量は、例えば大きさが500×600mm,10μmの分解能の場合約370MByteと膨大である。このためプリント基板パターンを高速に圧縮・記憶し、検査時に圧縮・記憶されたデータを伸長して手本パターンとし、比較検査する方式について検討した。圧縮法として2次元M^2R符号化法を採用し、並列に圧縮伸長動作を行う実験回路を製作したので報告する。
一般社団法人情報処理学会の論文
1988-09-12