プラズマ重合アセチレン含有CoPtグラニュラー薄膜
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概要
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Co_<90>Pt_<10> granular films including plasma-polymerized acetylene were prepared at room temperature by facing-targets sputtering. Their magnetic properties and microstructures were investigated. The coercivity reached 2000 Oe with C_2H_2 partial pressure (PC_2H_2) of 0.07 mTorr or less. The magnetic particles were separated magnetically by plasma-polymerized acetylene at a PC_2H_2 value of 0.07 mTorr with a film thickness of 40 nm or above. The magnetic particle size decreased and the uniformity of particles improved when the film thickness was decreased from 80 nm to 40 nm.
- 社団法人日本磁気学会の論文
- 2000-04-15
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