ニッケルフェライトスパッタ膜の高保磁力特性 (<特集>薄膜)
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概要
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The rf magnetron-sputtered nickel ferrite thin films were prepared by using several kinds of target on glass, silicon, quartz, and alumina substrates. Single-phase nickel ferrite films were successfully deposited by using a nickel ferrite bulk target. The films deposited as a substrate temperature (T_s) of 250℃ had a high coercivity of 230℃ Oe. Investigation of the reasons for this high coercivity revealed that one of the causes was a very large expansion of the lattice of the spinel structure for the nickel ferrite film, which distorted the magnetic anisotropy. Another was the presence of Ni^<3+> ions, which have the same electron configuration as Co^<2+> ions, whose crystalline magnetic anisotropy is large.
- 社団法人日本磁気学会の論文
- 1997-04-15
著者
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