走査透過電子顕微鏡の実時間収差補正システムの性能予測(数値応用)
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概要
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走査透過電子顕微鏡の分解能は,対物レンズの球面収差のため理論的限界の1/100程度に制約されている.生田は,多数の小面積検知器を用いて実時間信号処理を施し,無収差の振幅像と位相像を得る手法を提案した.本研究では,生田の手法をPCクラスタで実装するため,信号処理部のチューニングと性能評価を行い,最終システムの処理性能を予測する.
- 2004-03-01
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