27pA7 LEC法GaAs単結晶中炭素・硼素の偏析(バルク結晶成長シンポジウムIII)(バルク結晶成長シンポジウム : バルク単結晶の新しい融液成長技術)

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概要

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• 日本結晶成長学会の論文
• 1993-07-10

著者

• 藤本 英俊

  (株)東芝研究開発センター材料・デバイス研究所

• 西尾 譲司

  (株)東芝研究開発センター材料・デバイス研究所

• 藤田 宏元

  (株)東芝研究開発センター材料・デバイス研究所

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