LEC単結晶成長にともなう結晶内部温度分布の変化 : 融液成長III

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概要

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• 日本結晶成長学会の論文
• 1990-07-20

著者

• 藤井 高志

  東芝総研

• 西尾 譲司

  東芝・総研

• 藤井 高志

  東芝・総研

• 安永 壽夫

  東芝・総研

• 田中 裕二

  東芝・総研

• 西尾 譲司

  (株)東芝研究開発センター材料・デバイス研究所

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