LEC炉内雰囲気ガス中の不純物に対する部材ペーキング効果 : 融液成長IV

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概要

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• 日本結晶成長学会の論文
• 1991-07-25

著者

• 西尾 譲司

  (株)東芝研究開発センター材料・デバイス研究所

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