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GaAsの分子線エピタキシャル成長 : 融液成長と蒸着膜
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概要
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日本結晶成長学会の論文
1976-06-25
著者
室谷 利夫
三菱電機中研
室谷 利夫
三菱電気(株)LSI研究所
嶋ノ江 琢二
三菱電気
三木 秀二郎
三菱電気
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