CZシリコン中の微小欠陥のTEM観察 : 融液成長と蒸着膜

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概要

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• 日本結晶成長学会の論文
• 1976-06-25

著者

• 井上 直久

  電々公社・武蔵野通研

• 広田 昭一

  電々公社・武蔵野通研

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