スパッタープラズマCVD法による微結晶Si・Ge合金 : エピタキシー
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概要
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- 日本結晶成長学会の論文
- 1985-07-05
著者
-
大坂 之雄
広大工
-
大坂 之雄
広工大
-
河野 健次
広島電機大
-
中下 俊夫
東海大学工学部応用物理学科
-
中下 俊夫
東海大工
-
井村 健
広大工
-
井村 健
広島大学工学部電子物性工学大講座
-
中下 俊夫
東海大 工
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