TEGを用いたGaAs, AlGaAs減圧OMVPE : エピタキシー
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概要
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- 日本結晶成長学会の論文
- 1985-07-05
著者
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木村 康三
光技術共同研究所
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石井 恂
三菱電機(株)中央研究所
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香門 浩一
光技術共同研究所
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高岸 成典
光技術共同研究所
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三原 稔
光技術共同研究所
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石井 恂
光技術共同研究所
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堀口 青史
光技術共同研究所
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香門 浩一
住友電気工業(株)基盤技術研究所
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