112 DLC 膜の水環境下におけるトライボロジー特性
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概要
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The diamond-like carbon (DLC) films were deposited on Si wafers using different techniques such as a RF plasma CVD, a hot filament plasma CVD, and a plasma based ion implantation. Their friction and wear properties were evaluated under water and air environments using a ball-on-disk type reciprocating friction tester. The friction coefficient and wear in water were superior to those in air, when sliding against SiC ball. With SUS440C ball, the friction coefficient was affected by the effect of deposition techniques, although wear was less affected.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2003-09-19
著者
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