616 超音波顕微鏡を用いた TiN 薄膜の弾性表面波速度測定に関する基礎的研究
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概要
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The purpose of this study is to establishe the measuring method of elastic wave velocity of a thin film coated on substrate with an acoustic microscope. When the thickness of film is less than about 10μm, the measured elastic wave velocity is influenced by the properties of substrates. In this study, a new method that can measure the elastic wave velocity of TiN thin film with a thickness of 1μm or less, has been developed.
著者
-
瀬尾 健二
兵庫県立大
-
瀬尾 健二
姫路工大
-
日下 正広
姫路工大
-
木村 真晃
姫路工大
-
藤田 和也
姫路工大
-
安 圭栢
姫路工業大学大学院工学研究科:(現)韓国サムスン重工業(株)
-
安 圭栢
姫路工大
-
木村 真晃
兵庫県立大学大学院工学研究科
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