440 ガリウムヒ素ウエハの結晶方位が光弾性定数に及ぼす影響(GS-9 センサ・電子デバイス)

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概要

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• 社団法人日本機械学会の論文
• 2001-07-19

著者

• 新津 靖

  東電大

• 牧野 智彦

  東電大院

• 五味 健二

  東電大

• 一瀬 謙輔

  東電大

• 五味 健二

  東京電機大

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