分子線による真空材料の評価 : 第2報,銀イオンプレーティングによる表面改質
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概要
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With the use of the molecular beam method, scattering of argon and helium molecules from an Ag ion-plated stainless steel surface (SUS304) is studied experimentally. Time-of-flight (TOF) spectra of the scattered molecules are analyzed by means of superposition of two spectra ; one corresponding to the elastic or inelastic scattering process (the 1st spectrum) and one to the adsorption and desorption process (the 2nd spectrum). The mean energy of the scattered molecules, flux distributions and partial adsorption probability, which is defined based on the 2nd spectrum, are calculated from the TOF spectrum and compared with the results of the naked surface. From these results, the Ag ion-plated surface is verified to be adequate for use with vacuum technology.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 1993-06-25
著者
-
新美 智秀
名古屋大学大学院工学研究科
-
正畠 宏祐
分子科学研究所
-
藤本 哲夫
名古屋大学工学部
-
藤本 哲夫
名城大学理工学部
-
新美 智秀
名古屋大学
-
近藤 邦和
鈴鹿高専
-
近藤 邦和
静岡理工科大学理工学部
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