シースの経時変化を補償した静電探針法によるプラズマ診断システム : 弱電離プラズマを対象とした円筒プローブの適用
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概要
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When plasma parameters are practically estimated from the detected current-voltage curve of a Langmuir probe, a significant measurement error is generated mainly due to the time dependent sheath characteristics. A new technique is proposed here to compensate the sheath time dependence by controlling the time rate of externally impressed probe voltage with sawtoothed waves. The obtained result shows that the present method allows acuurate mesurement of the plasma parameters in weakly ionized plasma fields, with high speed and reproducibility.
- 1994-12-25
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