変位センサ用電気光学結晶の諸特性
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概要
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We are developing a laser displacement sensor which can be sued for XY-Stage positioning for example. The principle of this sensor is the interference method. It modulates the phase of the reflecting beam form the object by electro-optic crystals, and measures shift of the phase of measurement beam by comparison with that of modulated reference beam. The resolution of this sensor is 5nm, and the possible measurement speed is 1000 mm/s. We also investigated some of important characteristics of E-O Crystals on which the resolution of this sensor depends, and confirmed that they were adequate for our sensor.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 1989-01-25
著者
-
赤津 利雄
日立製作所機械研究所
-
早山 徹
(株)日立製作所中央研究所
-
森 貞雄
日立製作所・機械研
-
赤津 利雄
(株)日立製作所機械研究所
-
宮崎 忠一
(株)日立製作所機械研究所
-
森 貞雄
(株)日立製作所機械研究所
-
太田 啓
日立計測エンジニアリング(株)
-
太田 啓
(株)日立製作所那珂工場
-
森 貞雄
(株)日立製作所 機械研究所
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