Si_3N_4セラミックスの焼結過程における固相-気相反応(第5報) : 非カーボン炉中, N_2ガス流通下におけるSi_3N_4セラミックスの質量変化反応
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概要
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The mass change reaction of Si_3N_4 ceramics during sintering in a non-cabon-element furnace was investigated in a flowing N_2 gas environment as a function of the oxygen partial pressure, p_o_2, in the range from 2.0×10^<-4> to 3.0×10^3 Pa. There were four different p_o_2 regions in the mass change reaction:passive oxidation, passive to active transition, active oxidation, and vaporization. It was concluded that the major reactions for the vaporization region are Si_3N_4(s)+3SiO_2(l)→6SiO(g)+2N_2(g) and Si_3N_4(s)→3Si(g)+2N_2(g).
- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 2000-07-01
著者
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