Si_3N_4多結晶基板上へのc軸配向性LiNbO_3薄膜の作製と圧電性
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概要
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C-axis orientation of LiNbO_3 thin films prepared on polycrystalline Si_3N_4 substrates by RF magnetron sputtering was optimized by analysis of the variance. The LiNbO_3 thin film was completely oriented in the c-axis direction. Using an interdigital transducer fabricated on the film, a resonance was observed at a frequency of 800 MHz, which showed that the film exhibited piezoelectric properties. It was proved that a c-axis-oriented LiNbO_3 thin film can be used to detect mechanical impact.
- 1997-01-01
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