顕微ラマン散乱による窒化アルミニウム半導体製造装置用部品の耐食性に関する研究
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概要
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A micro-Raman spectroscopic investigation has been performed to observe structural disorder in each grain of aluminum nitride ceramics as semiconductor equipment parts. A selective thermal oxidation treatment normalizes a different rate of a corrosion reaction depending on the crystal face and consequently improves the corrosion resistance. Upon thermal oxidation treatment, line widths of Raman bands increased more in grains including mainly crystals with (100) preferred orientation than in those of (002), indicating that (100) faces oxidize preferentially rather than (002) faces. According to Raman shift from the oxidized sample, oxidation induces residual compressive stress for grains including a large number of (100) prefer-oriented crystals. On fluorination of the oxidized sample, no increase of line widths was observed in both kinds of grains, suggesting that prior anisotropic thermal oxidation treatment of (100) faces, which are more sensitive to corrosion than (002) faces, inhibits the progress of corrosion.
- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 2003-12-01
著者
-
吉村 昌弘
東京工業大学工業材料研究所
-
垣花 眞人
東京工業大学応用セラミックス研究所
-
Yoshimura Masashi
Division Of Electrical Electronic And Information Engineering Osaka University
-
藤森 宏高
山口大学工学部
-
藤森 宏高
山口大学大学院応用医工学系専攻
-
Yoshimura Masashi
Division Of Electric Electronic And Information Engineering Graduate School Of Engineering Osaka Uni
-
吉村 昌弘
東京工業大学
-
吉村 昌弘
東京工業大学 応用セラミックス研究所
-
吉村 昌弘
東工大・工材研
-
吉村 昌弘
東京工業大学応用セラミックス研究所
-
後藤 誠史
山口大学大学院医学研究科応用医工学系
-
藤森 宏高
山口大学大学院医学系研究科応用医工学系専攻
-
井奥 洪二
山口大学大学院医学研究科
-
田村 洋二
山口大学大学院医学研究科応用医工学系工学部機能材料工学科
-
針田 彬
(株)トクヤマ
-
吉村 昌弘
東京工大
-
垣花 眞人
東京工業大学 工業材料研究所
-
井奥 洪二
東北大学大学院環境科学研究科 環境科学専攻
-
Yoshimura Misao
Research And Development Center Toshiba Corp.
-
藤森 宏高
山口大学大学院医学研究科
-
吉村 昌弘
Division Of Electric Electronic And Information Engineering Graduate School Of Engineering Osaka Uni
-
Yashima Masatomo
Materials And Structures Laboratory Tokyo Institute Of Technology:(present Address) Department Of Ma
-
Yoshimura M
Toyota Technological Institute
-
藤森 宏高
東工大 応用セラミックス研
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