29p-Q-1 シリコン集積回路の高密度化
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 社団法人日本物理学会の論文
- 1980-03-12
著者
関連論文
- 11p-W-6 CdSにおける表面弾性波コンボリューションの光エンハンスメント
- 表面弾性波と電子の相互作用(基研短期研究会「固体内のフォノンおよび電子表面状態の理論」報告)
- 2a-N-5 InSb MIS構造における表面弾性波の伝播
- 30p-N-10 InSbにおける表面波の磁場中増幅
- 29p-Q-1 シリコン集積回路の高密度化
- 超LSIにおける諸問題(固体物理の応用)
- 電子ビ-ムリソグラフィ装置
- 超LSIの歩み (超LSI特集)
- 超LSI技術 (ビッグサイエンス特集号) -- (日本におけるビッグサイエンスの現状)
- 超LSI・共同研究所における研究と成果の概要 (ここまできた超LSI技術--超LSI・共同研究所の開発成果から(特別レポ-ト))
- 超LSI (′80年代の2大技術マイクロエレクトロニクス・オプトエレクトロニクスを展望する) -- (マイクロエレクトロニクス)