超LSI・共同研究所における研究と成果の概要 (ここまできた超LSI技術--超LSI・共同研究所の開発成果から(特別レポ-ト))

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 日刊工業新聞社の論文

著者

• 垂井 康夫

  超lsi共同研

関連論文

• 29p-Q-1 シリコン集積回路の高密度化
• 超LSIにおける諸問題(固体物理の応用)
• 電子ビ-ムリソグラフィ装置
• 超LSIの歩み (超LSI特集)
• 超LSI技術 (ビッグサイエンス特集号) -- (日本におけるビッグサイエンスの現状)
• 超LSI・共同研究所における研究と成果の概要 (ここまできた超LSI技術--超LSI・共同研究所の開発成果から(特別レポ-ト))
• 超LSI (′80年代の2大技術マイクロエレクトロニクス・オプトエレクトロニクスを展望する) -- (マイクロエレクトロニクス)

スポンサーリンク