垂井 康夫 | 超lsi共同研
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概要
関連著者
著作論文
- 29p-Q-1 シリコン集積回路の高密度化
- 超LSIにおける諸問題(固体物理の応用)
- 電子ビ-ムリソグラフィ装置
- 超LSIの歩み (超LSI特集)
- 超LSI技術 (ビッグサイエンス特集号) -- (日本におけるビッグサイエンスの現状)
- 超LSI・共同研究所における研究と成果の概要 (ここまできた超LSI技術--超LSI・共同研究所の開発成果から(特別レポ-ト))
- 超LSI (′80年代の2大技術マイクロエレクトロニクス・オプトエレクトロニクスを展望する) -- (マイクロエレクトロニクス)