28pXM-5 TEM-CL法によるGaN成長膜中の転位の研究(X線・粒子線(電子線))(領域10)

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 2004-03-03

著者

• 山本 直紀

  東工大院理工

• 向井 孝志

  日亜化学工業

• 山本 直紀

  東工大院理工:jst-crest

• 向井 孝志

  日亜化学

• Grillo V.

  Tasc Inst. Infm

• 中路 大輔

  東工大院理工

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