30a-W-10 化学アニーリングで作製したa-Si:H膜のEXAFS及びRaman分光法による構造解析
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1992-03-12
著者
-
清水 勇
東京工業大学大学院総合理工学研究科
-
白井 肇
Department Of Functional Materials Science Faculty Of Engineering Saitama University
-
清水 勇
東工大
-
若木 政利
日立 日立研
-
金子 寿輝
日立 日立研
-
中野 朝雄
日立 生産技術研
-
尾形 潔
日立 生産技術研
-
白井 肇
東工大 総理工
-
清水 勇
東工大 総理工
-
若木 政利
日立研
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