29p-B-7 EXAFS及びRaman分光法によるa-Si及びa-Si:H膜の構造解析

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1991-09-12

著者

• 若木 政利

  日立 日立研

• 若木 政利

  日立研

• 玉橋 邦裕

  日立研

• 尾形 潔

  生産技術研

• 中野 朝雄

  生産技術研

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